業界別アプリケーション半導体業界（前工程）
ウェーハアライメント
生産工程や製造装置向けのウェーハアライメント技術を提供します。
プリアライメント
ウェーハの中心位置、角度を検出しファインアライメント前に必要な位置合わせを行います。ウェーハの角度検出はノッチを検出する方法で行います。
コースアライメント
ウェーハ上のストリートの角度を検出し、ファインアライメント前に必要な正確な角度合わせを行います。
ファインアライメント
幾何学形状アライメントツールを使用し、ウェーハ上の複数の位置合わせパターンや回路パターン検出を行い、より精密に位置合わせを行います。ウェーハプロセスの影響で難易度の高い条件下でも高精度なウェーハ位置決めを行うことが可能です。
